怎么提高滤光片膜层强度?

2020-08-11 19:24:28 @CJ-NMOT 60

怎么提高滤光片膜层强度?

一款高品质滤光片应该有那些特征呢?

高品质的滤光片在使用上应该经久耐用,满足客户的使用环境需求,长期的使用而保持稳定的光学特性。那么一款高品质的滤光片,高可靠性的滤光片是怎么制造出来的呢?深圳纳宏光电带您了解一下。

高品质的滤光片膜层的机械性能受附着力、应力、聚集密度等的影响,由滤光片膜层材料和工艺因素之间的关系可知如果要提高滤光片膜层的机械强度就应该着重考虑以下几个工艺参数;

(1)真空度。

真空度对滤光片膜层薄膜的性能影响是很明显的。滤光片膜层绝大部分性能指标的好坏对真空度的依赖性很大。滤光片膜层聚集密度增大滤光片膜层牢固度增加,光学滤光片膜层结构得到改善。

(2)沉积速率。

提高镀膜机内的沉积速率不仅可以用提高蒸发速率,提高蒸发源温度的办法,还可以用增大蒸发源面积的办法来达到。

(3)基片温度。

提高基片温度有利于将吸附在基片表面的剩余气体分子排除,增加基片沉积分子之间的结合力使滤光片膜层结构紧密。

(4)离子轰击。

离子轰击对高凝聚力表面的形成、表面粗糙度、氧化作用和聚集密度有影响增加滤光片膜层的附着力;镀后轰击可以提高滤光片膜层聚集密度。

(5)基片清洁。

基片清洗方法不适当或不洁净,在基片上残留有杂质或清洁剂,影响到第一滤光片膜层的结构特性和光学厚度改变滤光片膜层特性。

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